| 一、仪器用途
TBM-600 半导体检测仪是检测双极型晶体管的基区宽度，半导体晶片的直径、平整度、光洁度、表面污染、伤痕等，刻蚀图形的线条长、宽、直径间距、套刻精度、分辨率以及陡直、平滑必不可少的仪器。配备大视野目镜与偏光观察装置，透反射照明采用“柯勒”照明系统，视场清晰。可用于半导体硅晶片、LCD基板、电路板、固体粉未及其它各种透明或不透明工业试样的检验，是生物学、金属学、矿物学、精密工程学、电子工程学等研究的理想仪器,广泛应用在工厂、实验室和教学及科研等领域。
二、产品特点
采用无限远光学系统及模块化功能设计。长工作距离明，视场大而清晰。广角平场目镜：视场直径Ф22mm。粗微动同轴调焦机构，粗动松紧可调，带限位锁紧装置，微动格值:2μm。内置式可切换偏光观察装置，起偏器可360°旋转。上光源采用翻盖式12V50W卤素灯箱，更换灯炮安全便捷，下光源采用12V/30W卤素灯，加装散热片。三目镜筒可自由切换目视观察与显微摄影，摄影时可100%通光。
三、技术参数
1.目镜
| 类型 |
放大倍数 |
视场(mm) |
| 平场目镜 |
10X |
φ18 |
2.物镜
| 类别 |
放大倍数 |
孔径数值 |
工作距离(mm) |
| 无限远长距平场消色差物镜 |
5X |
0.12 |
9.7 |
| 10X |
0.25 |
9.3 |
| 20X |
0.40 |
7.2 |
| 40X |
0.60 |
3.0 |
3.光学放大倍数：50X 100X 200X 400X
4.三目镜,倾斜30˚,(内置检偏振片,可进行切换)
5.双层机械移动式(尺寸:210mmX140mm,移动范围:75mmX50mm)
6.粗微动同轴调焦, 微动格值:2μm,带锁紧和限位装置
7.照明系统：落射 6V 20W 卤素灯,亮度可调,带视场光栏、孔径光栏、起偏振片
透射 6V 20W 卤素灯,亮度可调,内置视场光栏, 蓝滤色片和磨砂玻璃
8.阿贝聚光镜NA.1.25可上下升降
9.滤色片：(黄,蓝,绿,磨砂)
四、系统组成
(TBM-600):1.显微镜 2.适配镜 3.摄像器(CCD) 4.A/D(图像采集)
五、总放大参考倍数
TBM-600型：50—3500倍
六、选购件
1.目镜: 10X分划 2.物镜:50X 60X 80X 3.二维测量软件 |
标准型半导体检测 TBM-600
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氲嘉?
